Horno de deposición de vapor de múltiples estaciones de carga inferior

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El horno de depósito de vapor múltiple de carga de fondo se utiliza para la deposición de vapor CVD de varios tipos de carbono pirolítico, carbono pirolítico, materiales compuestos de carbono/carbono, materiales a base de carbono, cerámica de temperatura ultraminta como sustratos, así como varios metales y metales y varios metales y sustratos de grafito grafeno recubierto en un horno de deposición de vapor químico CVD.

Características del producto de los hornos eléctricos industriales

- Alta precisión del control de temperatura, ± 0.1 ℃, después de 3 horas de preservación de calor, anillo de medición de temperatura 12 puntos Medición de temperatura, uniformidad de temperatura <± 3 ℃.
- La temperatura de trabajo del sistema es de 25-1250 grados centígrados, y el diseño es inflable para considerar el entorno de trabajo de la ECV, y puede funcionar de manera estable durante mucho tiempo.
-El sistema está equipado con protección perfecta, sobrevoltaje, exceso de corriente, rotura del circuito de agua, desequilibrio trifásico, temperatura del agua, alarma de fuga de gas combustible.
- se puede equipar con plataforma de trabajo de rotación uniforme multicanal
-Circuito de gas Configuración de múltiples vías y una variedad de métodos de control de medidor de flujo de masa, válvula de aguja manual, dispositivo de entrada de mezcla de gases múltiples.
- El caudal de gas, la velocidad de flujo se puede controlar para soportar el anemómetro portátil
- Menos adherentes volátiles en el horno
- Eficiencia de recolección de colección de condensación de más del 90%

Parámetro de producto

Bottom-loading multi-station vapour deposition furnace

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