Preparación de deposición de CVD horno industrial

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El horno de depósito de vapor CVD de la estación múltiple de carga inferior se utiliza para el depósito de vapor CVD de varios tipos de carbono pirolítico, carbono pirolítico, materiales compuestos de carbono/carbono, materiales a base de carbono, cerámica de temperatura ultra alta como sustratos, así como varios metales , Deposición de CVD de grafito del grafeno recubierto de base en hornos eléctricos industriales.

Carbonización de hornos Características del producto

- Alta precisión del control de temperatura, ± 0.1 ℃, después de 3 horas de preservación de calor, anillo de medición de temperatura 12 puntos Medición de temperatura, uniformidad de temperatura <± 3 ℃.
- La temperatura de trabajo del sistema es de 25-1250 grados centígrados, y el diseño es inflable para considerar el entorno de trabajo de la ECV, y puede funcionar de manera estable durante mucho tiempo.
-El sistema está equipado con protección perfecta, sobrevoltaje, exceso de corriente, rotura del circuito de agua, desequilibrio trifásico, temperatura del agua, alarma de fuga de gas combustible.
- se puede equipar con plataforma de trabajo de rotación uniforme multicanal
-Circuito de gas Configuración de múltiples vías y una variedad de métodos de control de medidor de flujo de masa, válvula de aguja manual, dispositivo de entrada de mezcla de gases múltiples.
- El caudal de gas, la velocidad de flujo se puede controlar para soportar el anemómetro portátil
- Menos adherentes volátiles en el horno
- Eficiencia de recolección de colección de condensación de más del 90%

Parámetro de producto

Bottom-loading multi-station vapour deposition furnace

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